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러시아 불화수소가 일본 대안? 삼성·SK "써본적 없는데…"

러시아가 우리 정부에 불화수소 공급을 제안했다는 한겨레신문 보도를 놓고 삼성전자ㆍSK하이닉스는 공히 “기업에 직접 제안한 게 아니라 섣불리 뭐라 말하기 어렵다”는 반응을 보였다. 삼성전자는 현재 대만과 중국, SK하이닉스는 대만 등지를 통해서 불화수소(HF) 공급선을 추가 확보하고 있다. LG디스플레이는 지난 9일 최고기술책임자(CTO)인 강인병 부사장이 취재진에 “중국·대만 제품도 있다”고 밝히기도 했다.

 
한-일 긴장 국면에 등장한 러시아산 불화수소  
12일 삼성전자와 SK하이닉스는 “러시아산 불화수소(에칭 가스)는 지금까지 생산 공정에 쓴 적이 없다”고 밝혔다.
 
이날 IT업계 안팎과 정부 취재를 종합하면 러시아는 최근 외교 채널로 자국산 불화수소를 한국 기업에 공급할 수 있다는 뜻을 우리 정부에 전한 것으로 알려졌다. 불화수소는 반도체 제조공정 중 회로의 모양대로 깎아내는 에칭(식각) 공정에 쓰인다. 이른바 에칭 가스다. 이밖에도 불화수소는 반도체의 불순물 제거 공정에 사용된다. 
 
그래픽=김영옥 기자 yesok@joongang.co.kr

그래픽=김영옥 기자 yesok@joongang.co.kr

한 업계 관계자는 “원재료 공급처를 바꾸면 실제 테스트를 하기 전까진 제품에 어떤 영향을 미칠지 아무도 모른다”며 “매우 미세한 차이가 발생하더라도 공정상 결함이 발생할 수 있기 때문에 검증된 업체들로부터 원재료를 받아 쓰는 것을 선호한다”고 말했다. IT업계 안팎에 따르면 삼성전자나 SK하이닉스가 새로운 공급처로부터 에칭가스를 받아 적용하려면 까다로운 품질 테스트를 거쳐야 한다. 에칭가스는 독성이 있는 민감한 물질이라 테스트 기간만 2개월 넘게 걸린다고 한다.
 
일본보다 더 순도 높은 불화수소를 공급할 수 있다는 러시아 측 제안을 마냥 신뢰하긴 어렵다고 한다. 한국 반도체·디스플레이 업체에 에칭가스(HF)를 납품했던 일본 스텔라는 ‘트웰브 나인(99.9999999999%)’ 순도를 자랑하며 영업을 했을 정도로 그간 품질에 자신 있어 했다. 러시아산을 들여오는 방법 이외에도 후성ㆍ솔브레인 등 국내 소재 업체가 상대적으로 낮은 농도의 불화수소를 정제시설을 거쳐 고순도로 바꾸는 작업을 할 수 있다.
 
현재 LG디스플레이는 국내 업체 두 곳이 생산한 가스 형태의 에칭가스를 액정(LCD) 제조 과정에 적용할 수 있는지 테스트하고 있다. 포나인(99.99%) 이상 고순도의 일본산 에칭가스 대신 국산품으로 이를 대체하더라도 문제가 없는지를 확인하는 절차다.  
 
앞서 일본 정부는 지난 4일부터 ▶불소 함유량이 전체 중량의 30% 이상인 불화수소 ▶불소 함유량이 전체 중량의 10% 이상인 플루오린 폴리이미드 ▶1나노(㎚) 초과 193나노 미만 파장의 노광장비(반도체 기판에 회로를 그리는 장비)에 쓰이는 포토레지스트(감광제) 등에 대한 한국 수출 절차를 이전 대비 강화했다. 이전에는 3년간 포괄적 수출 승인을 내줬다면, 4일 이후부턴 수출물량 한 건마다 승인을 받게 했다. 
 
김영민 기자 bradkim@joongang.co.kr 

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